Röntgenreflektometria

Röntgenreflektometria on ohuiden pinnoitteiden analysointiin käytettävä menetelmä, jolla saadaan tietoa pinnoitteen karheudesta, paksuudesta, sekä pinnoitekerrosten tiheydestä. Menetelmässä pinnoitteeseen kohdistetaan röntgensäteitä matalalla tulokulmalla, jotka heijastuvat eri rajapinnoista muodostaen diffraktiokuvion (ns. Fringe-kuvio). Mitatusta Fringe-kuviosta voidaan laskea pinnoitteen karheus, paksuus, ja röntgensäteiden absorptioon liittyvä tiheys. Vastaava Fringe-ilmiö on havaittavissa näkyvän valon tapauksessa esimerkiksi veden päällä olevassa öljykerroksessa kun valo heijastuu öljy-vesi rajapinnasta muodostaen silminnähtäviä värikkäitä kuvioita.

Röntgenreflektometrian toimintaperiaate ja esimerkki havaittavasta Fringe-kuviosta

Menetelmä vaatii erittäin sileän ja ohuen pinnoitteen toimiakseen. Pinnasta on kyettävä näkemään oma peilikuvansa ja pinnoitepaksuus voi olla maksimissaan ~200 nm. Pinnoite voi koostua myös useasta ohuemmasta pinnoitekerroksesta, jolloin tietoa on mahdollista saada myös pinnoitekerrosten rajapintojen karheudesta. Kuitenkin kerrosten määrän kasvaessa menetelmän tarkkuus heikkenee.